Il-miri ta 'sputtering jistgħu jinqasmu f'miri planari u miri li jduru skond il-forom tagħhom. Il-miri planari huma miri twal, miri kwadri, jew miri tondi b'ċerta ħxuna, eċċ., Li jsiru billi torbot vojt fil-mira u pjanċa ta 'wara. Waqt sputtering, il-mira vojta u s-sottostrat huma paralleli ma 'xulxin, u kamp elettromanjetiku huwa ffurmat bejn il-mira blank u s-sottostrat. Il-miri li jduru huma miri tubulari, u kamp elettromanjetiku huwa ffurmat lejn is-sottostrat waqt sputtering. Il-miri planari huma aktar versatili, iżda għandhom rata ta 'utilizzazzjoni aktar baxxa; miri li jduru għandhom rata ta 'utilizzazzjoni ogħla, iżda uniformità fqira tal-kisi.
Vantaġġi Ta 'Miri li jduru
1. Il-miri li jduru għandhom utilizzazzjoni ogħla tal-materjal
Il-miri li jduru jistgħu jikkunsmaw b'mod uniformi l-wiċċ tal-mira waqt ir-rotazzjoni, u b'hekk itejbu l-utilizzazzjoni tal-materjal tal-mira, li normalment tista 'tilħaq 70% -90%. Madankollu, peress li naħa waħda fissa tal-mira planari hija involuta fl-isputtering, "skanalaturi" jew "fosos" se jiġu ffurmati waqt l-użu, li jirriżulta f'konsum irregolari ta 'materjal, u r-rata ta' utilizzazzjoni tal-materjal hija ġeneralment 30% -40%. Għal miri għaljin (bħal metalli prezzjużi jew materjali tad-dinja rari), miri li jduru jistgħu jnaqqsu l-ispejjeż b'mod sinifikanti u jtejbu l-benefiċċji ekonomiċi.
2. Il-miri li jduru għandhom uniformità ta 'sputtering aħjar
Il-miri li jduru jduru kontinwament waqt it-tħaddim, sabiex kull pożizzjoni fuq il-wiċċ tal-mira tkun esposta b'mod uniformi għall-plażma, u tifforma rata ta 'sputtering aktar uniformi. Dan għandu vantaġġi ovvji għal applikazzjonijiet b'rekwiżiti għoljin għall-uniformità tal-film (bħal wirjiet u proċessi semikondutturi). Il-miri planari huma suxxettibbli għal ħxuna irregolari tal-film minħabba over-sputtering lokali, speċjalment f'substrati ta'-erja kbira jew produzzjoni kontinwa.
3. Il-miri li jduru għandhom ħajja itwal ta 'servizz
Peress li l-miri li jduru jikkunsmaw materjal aktar uniformi, il-ħajja tas-servizz tagħhom ġeneralment tkun itwal minn dik tal-miri planari. Dan ifisser li taħt l-istess kundizzjonijiet tax-xogħol, il-frekwenza ta 'sostituzzjoni tal-mira li ddur hija aktar baxxa, li tnaqqas il-ħin ta' waqfien tat-tagħmir u ttejjeb l-effiċjenza tal-produzzjoni. Għal xi proċessi ta 'produzzjoni kontinwi, bħal kisi ta' -erja kbira u kisi ta 'roll-to-roll, il-mira li ddur tista' testendi b'mod sinifikanti ċ-ċiklu tal-produzzjoni u tnaqqas l-ispejjeż tal-manutenzjoni.
4. Il-miri li jduru għandhom kwalità ogħla tal-film
Is-saff tal-film sputtered mill-mira li ddur huwa aktar dens u aktar uniformi, li huwa adattat għal xi applikazzjonijiet b'rekwiżiti estremament għoljin għall-kwalità tal-film (bħal tagħmir elettroniku high-end u manifattura ta 'apparat semikonduttur). Dan huwa minħabba li l-mira li ddur tista 'tnaqqas b'mod effettiv id-difetti kkawżati minn sputtering irregolari fuq il-wiċċ tal-mira u ttejjeb il-kwalità u l-konsistenza tas-saff tal-film.
Konklużjoni
Meta mqabbla ma 'miri planari, miri rotatorji għandhom utilizzazzjoni ogħla tal-materjal, ħajja ta' servizz itwal, effett ta 'sputtering aktar uniformi, u adattabilità għal produzzjoni ta' -erja kbira u-volum għoli. Dan jagħmel il-miri rotatorji għażla importanti fil-qasam tad-depożizzjoni moderna ta 'film irqiq, speċjalment fil-kisi ta' -erja kbira, produzzjoni kontinwa, u manifattura ta 'apparat elettroniku high-.